一种半导体刻蚀设备的故障检测方法
发明专利申请公布后的驳回
摘要
本发明涉及自动控制领域。本发明提出一种半导体刻蚀设备的故障检测方法,其关键是比较待检测的刻蚀成品的图像与标准图像之间的差异程度,从中判断刻蚀设备是否出现故障。本发明的半导体刻蚀设备的故障检测方法的优点和积极效果在于:可以自动把异常时工艺参数图像与标准工艺参数图像作对比检测出系统故障,解决现有技术中采用人工比较的方法检测刻蚀机系统参数异常问题,提高故障检测的速度和准确性。
基本信息
专利标题 :
一种半导体刻蚀设备的故障检测方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1848370A
申请号 :
CN200510126301.X
公开(公告)日 :
2006-10-18
申请日 :
2005-12-05
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
李荣甫
申请人 :
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请人地址 :
100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号
代理机构 :
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 :
向华
优先权 :
CN200510126301.X
主分类号 :
H01L21/00
IPC分类号 :
H01L21/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
法律状态
2008-12-10 :
发明专利申请公布后的驳回
2006-12-13 :
实质审查的生效
2006-10-18 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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