一种半导体刻蚀设备的故障检测装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体刻蚀设备的故障检测装置，涉及到半导体刻蚀设备用故障检测领域，包括检测台，所述检测台的顶侧固定安装有两个支撑柱，两个支撑柱的顶侧均开设有伸缩槽，两个伸缩槽内均滑动安装有伸缩柱，两个伸缩柱的顶侧分别延伸至两个伸缩槽外并均固定安装有横杆。本实用新型结构合理，可通过滑动控制块来带动两个激光发射笔水平移动，从而可以同时对两个半导体进行对比采集数据，采集到的数据通过处理中心进行分析对比，最终可自动得出半导体刻蚀设备出现故障的位置，不再需要人工肉眼来进行观察对比，可有效避免人工视觉误差而导致误判故障，提高了检测的速度和准确性。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体刻蚀设备的故障检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021081790.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-12
授权号 ：
CN213022912U
授权日 ：
2021-04-20
发明人 ：
廖海涛
申请人 ：
江苏邑文微电子科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省南通市如东县掘港街道金山路1号
代理机构 ：
北京商专润文专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
朱建
优先权 ：
CN202021081790.8
主分类号 ：
G01N21/956
IPC分类号 ：
G01N21/956
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/95
特征在于待测物品的材料或形状
G01N21/956
检测物品表面上的图案
法律状态
2021-04-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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