本发明涉及半导体刻蚀领域，本发明提供了一种控制半导体刻蚀设备的方法，根据工艺的要求，确定设备之间的互锁关系，并将该互锁关系保存在互锁关系文件中，任务执行前，通过互锁检测程序调用该互锁关系文件，并根据相关任务的被执行情况决定是否执行该任务以及是否执行其他相关任务；由于采用以上技术方案，本发明与已有技术相比极大的提高了设备的可靠性，避免设备损坏和人员伤亡，而且采用这种机制的互锁方案可以灵活配置，维护及其方便，有效地提高半导体制造设备的设备可用时间和维护效益。