本实用新型公开了半导体设备运行安全检测装置，包括半导体设备外壳，所述半导体设备外壳的上表面固定连接有七氟丙烷灭火罐，所述半导体设备外壳的顶部内壁固定连接有传感器集成板，所述传感器集成板的下表面固定连接有烟雾传感器和温度传感器，所述烟雾传感器位于温度传感器的一侧，所述七氟丙烷灭火罐的下表面固定连接有连接管，且连接管位于半导体设备外壳的内部，所述连接管的下端通过连接套螺纹连接有灭火输气管，所述灭火输气管的下表面开设有喷气孔，本实用新型所达到的有益效果是：可以及时的应对高温或者着火的意外情况，对其进行及时有效的灭火处理，同时发出声光报警，保护效果好，并且具备减振结构，延长安全箱的使用寿命。