半导体设备测试装置及半导体设备测试方法

专利权的终止

PDF下载

摘要

一种半导体设备测试装置，用于测试在一个半导体衬底上制成的多个半导体器件，包括：上面设置有多个测试单元的基板，每个单元包括与半导体器件的电极端子相对应的探针、和与所述探针连接的导电层。

基本信息

专利标题：

半导体设备测试装置及半导体设备测试方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1959425A

申请号：

CN200610008548.6

公开（公告）日：

2007-05-09

申请日：

2006-02-17

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

丸山茂幸有坂义一田代一宏片山孝幸小泽彻木村雄伸

申请人：

富士通株式会社

申请人地址：

日本神奈川县

代理机构：

隆天国际知识产权代理有限公司

代理人：

王玉双

优先权：

CN200610008548.6

主分类号：

G01R31/28

IPC分类号：

G01R31/28 G01R31/26 G01R31/00 H01L21/66

IPC结构图谱

G部——物理

G01

测量；测试

G01R

测量电变量；测量磁变量

G01R31/28

•电路的测试，例如用信号故障寻测器

法律状态

2020-02-11 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G01R 31/28
申请日 : 20060217
授权公告日 : 20091202
终止日期 : 20190217

2015-05-27 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101715799147
IPC(主分类) : G01R 31/28
专利号 : ZL2006100085486
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 富士通半导体股份有限公司
变更后权利人 : 株式会社索思未来
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 日本神奈川县横滨市
变更后权利人 : 日本神奈川县
登记生效日 : 20150512

2010-11-10 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101038408489
IPC(主分类) : G01R 31/28
专利号 : ZL2006100085486
变更事项 : 专利权人
变更前 : 富士通微电子株式会社
变更后 : 富士通微电子株式会社
变更事项 : 地址
变更前 : 日本东京都
变更后 : 日本神奈川县横浜市

2010-11-10 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101038408490
IPC(主分类) : G01R 31/28
专利号 : ZL2006100085486
变更事项 : 专利权人
变更前 : 富士通微电子株式会社
变更后 : 富士通半导体股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 日本神奈川县横浜市
变更后 : 日本神奈川县横浜市

2009-12-02 ：

授权

2008-12-10 ：

专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移)

变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 富士通株式会社
变更后权利人 : 富士通微电子株式会社
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 日本神奈川县
变更后权利人 : 日本东京都
登记生效日 : 20081107

2007-07-04 ：

实质审查的生效

2007-05-09 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

文件下载

暂无PDF文件可下载