半导体器件、测试装置、以及测试方法

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

本发明提供一种半导体器件，是测试设置在内部的被测配线的延迟时间的半导体器件。此半导体器件包括：循环路径，在路径上设置了被测配线；延迟元件，让输入信号只延迟规定时间；延迟选择部，用于切换是否在循环路径上连接延迟元件；循环延迟测试部，用于测量循环路径延迟时间；第1门延迟计算部，其从在循环路径上连接了延迟元件时的循环路径延迟时间，减去在循环路径上未连接延迟元件时的循环路径延迟时间，而计算出延迟元件的延迟时间；第2门延迟计算部，其基于延迟元件的延迟时间，而计算出在循环路径上连接的逻辑电路的延迟时间；以及，配线延迟计算部，用于计算被测配线的延迟时间。

基本信息

专利标题：

半导体器件、测试装置、以及测试方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101099087A

申请号：

CN200580045992.9

公开（公告）日：

2008-01-02

申请日：

2005-11-24

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

山崎真松村英宜

申请人：

爱德万测试株式会社

申请人地址：

日本东京

代理机构：

北京中原华和知识产权代理有限责任公司

代理人：

寿宁

优先权：

CN200580045992.9

主分类号：

G01R31/317

IPC分类号：

G01R31/317 H01L27/04