本申请公开了一种激光等离子体极紫外光源系统及其监控方法，系统包括激光源、扫描器、位于一个封闭腔体内的液滴发生器、采集器以及氢气排出管路，还包括位于封闭腔体内的至少一个监控摄像头，且氢气排出管路的入口设置有加热板结构；液滴发生器用于生成锡液滴；激光源用于生成激光脉冲并作用于锡液滴以生成等离子体；采集器用于收集等离子体辐射出的极紫外光线，并将收集的EUV光线聚焦定向到扫描器中；监控摄像头，用于监控生成等离子体过程中所沉积的污染物量，并在污染物量超过预设值时，启动加热板结构的加热功能，以熔化氢气排出管路入口处沉积的污染物，避免由于污染物锡的沉积扰乱腔体内的氢气流，加速采集器污染的问题。