一种空间分辨的光诱导增材制造方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种空间分辨的光诱导增材制造方法，包括以下步骤：步骤1：首先沉积光和指引光通过准直透镜组；步骤2：通过二向色镜后再由聚焦透镜组射入匀光模组的入射端面；步骤3：通过匀光模组后的光线再次通过准直透镜组，步骤4：准直光通过反射镜反射至第一分光片，并由第一分光片将一部分分光反射至光掩模板上；步骤5：反射的光将带有光掩模板上的信息；步骤6：光诱导化学气相沉积的反应前驱体通过进气口进入，在沉积光照射部分，反应物发生热解反应或光解反应，从而在样品基底沉积成膜，实现了信息的转移；步骤7：对样品进行实时成像观测。本发明改变了传统的空间分辨的增材制造工艺流程，能有效地提高空间分辨的增材制造效率。
基本信息
专利标题 ：
一种空间分辨的光诱导增材制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114517291A
申请号 ：
CN202011313638.2
公开（公告）日 ：
2022-05-20
申请日 ：
2020-11-20
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
严振中吴阳
申请人 ：
赫智科技(苏州)有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区若水路388号H402室
代理机构 ：
北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
廖娜
优先权 ：
CN202011313638.2
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44 B33Y10/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2022-06-07 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 16/44
申请日 : 20201120
申请日 : 20201120
2022-05-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
