碱抛光PERC电池制作工艺
公开
摘要
本发明公开了一种碱抛光PERC电池制作工艺，所涉及的工艺在激光重掺杂步骤之后增加第二次扩散步骤，可以在重掺杂区再次形成对pn结构成保护的PSG，进而取代现有技术中所涉及的正面热氧化步骤；此外，在PERC电池轻掺杂区，由于第二次扩散步骤中的第二预扩散温度与第二推进扩散温度分别小于第一次扩散步骤中的第一预扩散温度与第一推进扩散温度，第一次扩散步骤中所形成的PSG可以阻止磷再次往硅片内部扩散；而在PERC电池重掺杂区，由于激光重掺杂步骤会破坏第一次扩散步骤中所形成的PSG，磷可以继续往硅片内部扩散，如此相对现有技术能够在重掺杂区形成掺杂浓度更高的重掺杂，以使重掺杂区具有更好的欧姆接触，提升FF，提升电池效率。
基本信息
专利标题 ：
碱抛光PERC电池制作工艺
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114628545A
申请号 ：
CN202011358105.6
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2020-11-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王俊吴坚
申请人 ：
嘉兴阿特斯技术研究院有限公司
申请人地址 ：
浙江省嘉兴市秀洲区高照街道康和路325号1号楼、2号楼
代理机构 ：
苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
宋启超
优先权 ：
CN202011358105.6
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L31/042 H01L31/0352
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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