用于大面积钙钛矿薄膜制备的高压气体萃取设备及方法
公开
摘要
本发明涉及一种结合高压氮气萃取的大面积钙钛矿薄膜制备装置，包括传输系统、气体喷淋头组件和高压氮气处理腔室，传输系统经过所述高压氮气处理腔室，气体喷淋头组件设于高压氮气处理腔室中，且所述气体喷淋头组件包括前部较高的远距离气体喷淋头和后部较低的近距离气体喷淋头。本发明使衬底先经过远距离气体喷淋头远距离吹扫高压氮气实现钙钛矿湿膜的初步固化，再经过近距离气体喷淋头近距离吹扫高压氮气实现钙钛矿薄膜的高压氮气萃取辅助结晶，可以实现溶剂快速挥发，促进钙钛矿均匀形核和晶体择优生长，有利于大面积、均匀无针孔的钙钛矿薄膜的制备。
基本信息
专利标题 ：
用于大面积钙钛矿薄膜制备的高压气体萃取设备及方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114597316A
申请号 ：
CN202011437660.8
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2020-12-07
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
刘生忠杜敏永王开王立坤王辉曹越先孙友名段连杰
申请人 ：
中国科学院大连化学物理研究所
申请人地址 ：
辽宁省大连市沙河口区中山路457-41号
代理机构 ：
沈阳科苑专利商标代理有限公司
代理人 ：
许宗富
优先权 ：
CN202011437660.8
主分类号 ：
H01L51/48
IPC分类号 ：
H01L51/48
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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