一种旋转涂布方法
公开
摘要
本发明提供了一种旋转涂布方法，所述旋转涂布方法包括：提供基底；在所述基底上施加旋涂剂；对所述旋涂剂进行旋转涂布，以在所述基底的表面形成旋涂膜层；执行第一振荡步骤；执行烘烤步骤，并且至少在所述烘烤步骤的部分时间内执行第二振荡步骤，以固化所述旋涂膜层。本发明通过增加所述第一振荡步骤和第二振荡步骤可以改善旋涂膜层厚度的均匀性。所述旋涂膜层的厚度均匀性从7.02％提高至3％以内，同时所述方法还可以节约旋涂剂使用成本。
基本信息
专利标题 ：
一种旋转涂布方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114602760A
申请号 ：
CN202011445659.X
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2020-12-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
林秀岩
申请人 ：
比亚迪半导体股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市大鹏新区葵涌街道延安路1号
代理机构 ：
深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
姚章国
优先权 ：
CN202011445659.X
主分类号 ：
B05D1/00
IPC分类号 ：
B05D1/00 B05D3/00 B05D3/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05D
对表面涂布流体的一般工艺
B05D1/00
涂布液体或其他流体的工艺
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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