一种基于光载微波干涉的液膜厚度测量系统
授权
摘要
本发明提供一种基于光载微波干涉的液膜厚度测量系统，其特征在于：包括宽带载波光源(1)、频率可调谐微波源(2)、电光调制器(3)、光放大器(4)、第一1×2多模光纤耦合器(5)、自聚焦透镜(6)、凸透镜(7)、光耦合透镜(8)、多模传输光纤(9)、第二1×2多模光纤耦合器(10)、高速光电探测器(11)、锁相放大器(12)、矢量微波探测器(13)和计算机(14)。本发明能够实现对液膜厚度的高精度测量。
基本信息
专利标题 ：
一种基于光载微波干涉的液膜厚度测量系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112747682A
申请号 ：
CN202011528377.6
公开（公告）日 ：
2021-05-04
申请日 ：
2020-12-22
授权号 ：
CN112747682B
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
薛婷李铸平吴斌
申请人 ：
天津大学
申请人地址 ：
天津市南开区卫津路92号
代理机构 ：
天津市北洋有限责任专利代理事务所
代理人 ：
程毓英
优先权 ：
CN202011528377.6
主分类号 ：
G01B11/06
IPC分类号 ：
G01B11/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B11/06
用于计量厚度
法律状态
2022-05-13 ：
授权
2021-05-21 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/06
申请日 : 20201222
申请日 : 20201222
2021-05-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
