基于干涉法的液晶光学移相检测系统以及检测方法
授权
摘要
本发明公开了一种基于干涉法的液晶光学移相检测系统及方法,系统结构为:激光光源发出的光经过二分之一波片后被第一偏振分光棱镜后分成两束偏振方向相互垂直的线偏振光;其中一束线偏振光照射到液晶光学相控阵样品上,再经第一反射镜反射后射入第二偏振分光棱镜;另一束线偏振光经第二反射镜反射后射入第二偏振分光棱镜;第二偏振分光棱镜对两束入射光进行合束,并将合束后的光束依次经过四分之一波片和检偏器后照射到电荷耦合元件的靶面上,电荷耦合元件与计算机控制中心相连。本发明确定了样品的绝对相位延迟量,实现了对二维液晶移相器件进行高精度、高分辨率、快速、自动的检测,提高了检测相控阵相位分布的分辨率和精度。
基本信息
专利标题 :
基于干涉法的液晶光学移相检测系统以及检测方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112731694A
申请号 :
CN202011547847.3
公开(公告)日 :
2021-04-30
申请日 :
2020-12-24
授权号 :
CN112731694B
授权日 :
2022-05-03
发明人 :
汪相如黄帆张梦雪贺晓娴
申请人 :
电子科技大学
申请人地址 :
四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
代理机构 :
成都虹盛汇泉专利代理有限公司
代理人 :
王伟
优先权 :
CN202011547847.3
主分类号 :
G02F1/13
IPC分类号 :
G02F1/13 G02F1/29
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02F
用于控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置,例如转换、选通、调制或解调,上述器件或装置的光学操作是通过改变器件或装置的介质的光学性质来修改的;用于上述操作的技术或工艺;变频;非线性光学;光学逻辑元件;光学模拟/数字转换器
G02F1/00
控制来自独立光源的光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置,例如,转换、选通或调制;非线性光学
G02F1/01
对强度、相位、偏振或颜色的控制
G02F1/13
基于液晶的,例如单位液晶显示单元
法律状态
2022-05-03 :
授权
2021-05-21 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02F 1/13
申请日 : 20201224
申请日 : 20201224
2021-04-30 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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