六边形互扣式电极三维硅探测器
授权
摘要
本实用新型公开了一种六边形互扣式电极三维硅探测器，包括六棱柱状的隔离硅体，隔离硅体的中心轴向设有中心电极，隔离硅体的六个侧面设有上下拼接的第一沟槽电极和第二沟槽电极，第一沟槽电极由两块C形沟槽电极卡扣而成，第一沟槽电极和中心电极的顶部设有金属接触层，金属接触层之间的隔离硅体顶部设有二氧化硅保护层，第二沟槽电极、中心电极和隔离硅体的底部设有二氧化硅保护层；本实用新型制备的六边形互扣式电极三维硅探测器死区小、内部电场分布均匀、电荷收集性能好，探测单元之间的单元独立性良好，探测效率高，对硅晶圆的利用率高。
基本信息
专利标题 ：
六边形互扣式电极三维硅探测器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020089373.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-16
授权号 ：
CN211125665U
授权日 ：
2020-07-28
发明人 ：
李正聂谦刘曼文
申请人 ：
湘潭大学
申请人地址 ：
湖南省湘潭市雨湖区羊牯塘街道湘潭大学
代理机构 ：
长沙新裕知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘熙
优先权 ：
CN202020089373.1
主分类号 ：
H01L31/0224
IPC分类号 ：
H01L31/0224 H01L31/08 H01L31/18
法律状态
2020-07-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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