一种扫描探针电阻测试系统

授权

摘要

一种扫描探针电阻测试系统，包括基准平板、Y轴位移台、支撑结构、X轴位移台、Z轴位移台、显微摄像头、探针头、导线、测量仪表、计算机、位移台控制器、数据线、样品托盘，基准平板上设有Y轴位移台，Y轴位移台一端的基准平板上竖直设有支撑结构，支撑结构顶部设有X轴位移台，X轴位移台中间位置设有Z轴位移台，Z轴位移台上固定安装有探针头，基准平板的一侧设有计算机。本实用新型的优点在于：可以实现用程序自动测量和更换样品点，从而完成大量样品尤其是样品电阻分布的测量，系统包含显微摄像头，用于监控测试过程、定位样品点位置、观察样品及探针状态等，基准平板用于提供基准平面，有助于样品的精确定位。

基本信息

专利标题：

一种扫描探针电阻测试系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020121747.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-01-19

授权号：

CN211785799U

授权日：

2020-10-27

发明人：

张海涛

申请人：

天津丘山仪器科技有限公司

申请人地址：

天津市西青区经济技术开发区赛达九纬路7号智尚中心10号厂房-1,2,6,7,8,10-401-9

代理机构：

天津英扬昊睿专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

吴扬

优先权：

CN202020121747.3

主分类号：

G01R27/02

IPC分类号：

G01R27/02