一种光栅面内检测的解耦式全对称微陀螺
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摘要
一种光栅面内检测的解耦式全对称微陀螺，包括：键合基板，支撑框架，驱动质量块，检测质量块，中心质量块，驱动组件和检测组件；支撑框架设置在键合基板上，支撑框架内侧面设有驱动座槽和检测座槽，驱动质量块分别设置在驱动座槽内；驱动质量块远离支撑框架中心一侧设置有可动梳齿，驱动座槽内对应可动梳齿的位置设置有固定梳齿，可动梳齿与固定梳齿交叉配合；检测质量块分别设置在检测座槽内，检测质量块上设置有可动光栅；中心质量块设置在支撑框架中心位置，中心质量块通过驱动组件与相邻的检测质量块连接，中心质量块通过检测组件与相邻的驱动质量块连接；键合基板上设置有凹槽，凹槽内两端对应可动光栅的位置对称设置有固定光栅。
基本信息
专利标题 ：
一种光栅面内检测的解耦式全对称微陀螺
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020165659.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-02-13
授权号 ：
CN212158620U
授权日 ：
2020-12-15
发明人 ：
李孟委郝飞帆张瑞
申请人 ：
中北大学
申请人地址 ：
山西省太原市学院路3号
代理机构 ：
北京惠智天成知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
刘莹莹
优先权 ：
CN202020165659.3
主分类号 ：
G01C19/5726
IPC分类号 ：
G01C19/5726 G01C19/5733
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01C
测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪；使用振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置；使用陀螺效应测量角速率
G01C19/56
使用振动部件的转动敏感装置，例如基于科里奥利力的振动角速度传感器
G01C19/5719
使用被驱动做沿轴平移振动的平面振动部件
G01C19/5726
信号处理
法律状态
2020-12-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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