一种热蒸发镀膜用旋转非球面夹具
专利申请权、专利权的转移
摘要

本实用新型公开了一种热蒸发镀膜用旋转非球面夹具,所述非球面夹具的内腔结构包括平面状的顶面及顶面边缘向外呈弧状延伸形成的坡面,且顶面与坡面平滑过渡呈一体成型结构,应用于镀膜机上,在进行镀膜时不依靠专门的膜厚修正系统,仅通过将现有的旋转球面夹具改成本旋转非球面夹具,即可使镀膜机的膜厚分布均匀性满足实际生产需要。

基本信息
专利标题 :
一种热蒸发镀膜用旋转非球面夹具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020245494.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-03-03
授权号 :
CN211999898U
授权日 :
2020-11-24
发明人 :
鲍刚华卢成陆斌王伟王健平
申请人 :
成都国泰真空设备有限公司
申请人地址 :
四川省成都市温江区成都海峡两岸科技产业开发园科林西路618号
代理机构 :
成都其高专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
贾波
优先权 :
CN202020245494.0
主分类号 :
C23C14/50
IPC分类号 :
C23C14/50  C23C14/30  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2022-01-18 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : C23C 14/50
登记生效日 : 20220106
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 四川锦成国泰真空设备有限公司
变更后权利人 : 成都国泰真空设备有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 610000 四川省成都市温江区成都海峡两岸科技产业开发园科林西路618号
变更后权利人 : 610000 四川省成都市温江区成都海峡两岸科技产业开发园科林西路618号
2021-07-20 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : C23C 14/50
登记生效日 : 20210708
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 卢成
变更后权利人 : 四川锦成国泰真空设备有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 611130 四川省成都市温江区柳城新华6组
变更后权利人 : 610000 四川省成都市温江区成都海峡两岸科技产业开发园科林西路618号
2021-03-16 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : C23C 14/50
登记生效日 : 20210303
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 成都国泰真空设备有限公司
变更后权利人 : 卢成
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 611130 四川省成都市温江区成都海峡两岸科技产业开发园科林西路618号
变更后权利人 : 611130 四川省成都市温江区柳城新华6组
2020-11-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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