基于梅花型光纤的MEMS多光束干涉腔
授权
摘要
本实用新型涉及一种基于梅花型光纤的MEMS多光束干涉腔，包括梅花型光纤、引导孔、支撑框架、孔肩、干涉腔本体、敏感膜片、第一反射层和第二反射层；所述梅花型光纤包括中心光纤和环绕光纤；所述梅花型光纤固接在引导孔中并与第二反射层相连接，所述的中心光纤与第一反射层中心对准，所述的环绕光纤与第二反射层相连接，所述第二反射层设在引导孔底部和干涉腔本体构成的孔肩上，所述干涉腔本体设在引导孔的底部且与引导孔的中心同轴，所述敏感膜片制作在干涉腔本体的底部并与支撑框架连接，所述第一反射层设在敏感膜片上。与现有技术相比，本实用新型具有工艺流程少、加工难度低、结构设计灵活、制作成本低等优点。
基本信息
专利标题 ：
基于梅花型光纤的MEMS多光束干涉腔
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020267968.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-06
授权号 ：
CN211552729U
授权日 ：
2020-09-22
发明人 ：
司文荣虞益挺傅晨钊李浩勇吴旭涛陆启宇黄华王谢君徐梦飞黄昊李秀广梁基重药炜何宁辉周秀马飞越陈川刘昕袁鹏
申请人 ：
国网上海市电力公司;西北工业大学;国网宁夏电力有限公司电力科学研究院;国网山西省电力公司;全球能源互联网研究院有限公司;西安茂荣电力设备有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区自由贸易试验区源深路1122号
代理机构 ：
上海科盛知识产权代理有限公司
代理人 ：
应小波
优先权 ：
CN202020267968.1
主分类号 ：
G01B11/02
IPC分类号 ：
G01B11/02 G02B6/293
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2020-09-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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