单晶炉防护底盘
授权
摘要
一种单晶炉防护底盘，涉及单晶炉部件技术领域，位于单晶炉的底部，包括断热材、防漏盘，断热材与防漏盘可拆卸连接；断热材与防漏盘可拆卸连接，在断热材使用一段时间后能够将断热材直接拆下防漏盘进行更换，节约材料；断热材的结构设计使其能够插入连接孔与防漏盘连接，容易拆卸，更换方便。
基本信息
专利标题 ：
单晶炉防护底盘
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020290994.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-10
授权号 ：
CN211848203U
授权日 ：
2020-11-03
发明人 ：
马成王忠保
申请人 ：
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
申请人地址 ：
宁夏回族自治区银川市西夏区光明西路28号
代理机构 ：
宁夏合天律师事务所
代理人 ：
孙彦虎
优先权 ：
CN202020290994.6
主分类号 ：
C30B15/00
IPC分类号 ：
C30B15/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法
法律状态
2020-11-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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