单晶炉的安全防护装置

授权

摘要

本实用新型公开一种单晶炉的安全防护装置，包括底架安装座，底架安装座的上表面通过第一安装圈固定安装有主动护罩，主动护罩的外侧面左侧设置有第一锁紧块，主动护罩的外侧面右侧设置有铰链，铰链的转动连接有从动护罩，从动护罩的另一侧设置有第二锁紧块，从动护罩的外侧面下端设置有第二安装圈，本实用新型通过罩内的气体压强的变化，判断单晶炉是否发生漏气或泄露等情况，从而起到安全预警的作用，同时通过循环泵将冷媒输送进冷屏内，对单晶炉进行降温处理，同时操作者切断单晶炉的电源，保证设备和人员安全，避免发生安全事故，同时也可及时修整，避免影响生产进度，降低生产成本。

基本信息

专利标题：

单晶炉的安全防护装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920596993.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-26

授权号：

CN210085625U

授权日：

2020-02-18

发明人：

魏海宁祝远冀张艳辉

申请人：

徐州晶睿半导体装备科技有限公司

申请人地址：

江苏省徐州市徐州经济技术开发区鑫芯路1号

代理机构：

北京淮海知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

华德明

优先权：

CN201920596993.1

主分类号：

C30B35/00

IPC分类号：

C30B35/00