一种基于合作目标光栅的主轴径向回转误差测量装置
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摘要
一种基于合作目标光栅的主轴径向回转误差测量装置，属于精密仪器制造及测量技术领域；在该装置中，光束整形器件固定在被测主轴的回转端面上，环形标尺光栅固定在光束整形器件上方，斜纹指示光栅位于环形标尺光栅上方，光电转换装置固定在斜纹指示光栅上方，电子信号处理部件位于光电转换部件上方，光源位于光束整形器件工作面的径向，准直扩束系统位于光源与光束整形器件之间；光束整形器件与被测主轴轴线重合，环形标尺光栅与光束整形器件轴线重合，斜纹指示光栅与环形标尺光栅轴线重合，光电转换部件与斜纹指示光栅轴线重合；通过将合作目标光栅与光电转换器件组合，大大减少了装置制作成本，提高测量精度。
基本信息
专利标题 ：
一种基于合作目标光栅的主轴径向回转误差测量装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020323889.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-16
授权号 ：
CN211234298U
授权日 ：
2020-08-11
发明人 ：
刘阳张勇飞林杰金岸金鹏
申请人 ：
哈尔滨工业大学
申请人地址 ：
黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
代理机构 ：
哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈润明
优先权 ：
CN202020323889.8
主分类号 ：
G01B11/00
IPC分类号 ：
G01B11/00 G01B11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
法律状态
2020-08-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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