一种大尺寸用籽晶杆保护装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种大尺寸用籽晶杆保护装置。它包括籽晶杆、籽晶杆铜头、电磁流量阀、压力传感器及PLC控制单元。籽晶杆内挡水板将水流分割两个连通区域，籽晶杆进水口处连接有电磁流量阀控制水流，在籽晶杆出水口连接有压力传感器监测水压，电磁流量阀与压力传感器整体由PLC控制单元控制。本实用新型籽晶杆装置冷却效果明显，在籽晶杆铜头高温漏气时可以防止单晶炉内热场组件氧化，延长其使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种大尺寸用籽晶杆保护装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020387614.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-24
授权号 ：
CN212955445U
授权日 ：
2021-04-13
发明人 ：
左洪波杨鑫宏李铁马宗羽
申请人 ：
哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司
申请人地址 ：
黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街357号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020387614.0
主分类号 ：
C30B29/20
IPC分类号 ：
C30B29/20 C30B17/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/10
无机化合物或组合物
C30B29/16
氧化物
C30B29/20
铝的氧化物
法律状态
2021-04-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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