一种搬舟碰撞检测装置

授权

摘要

本实用新型公开了一种搬舟碰撞检测装置,包括搬舟手臂、固定装置和搬舟碰撞机构，所述搬舟碰撞机构包括舟检测机构、舟碰撞机构和搬舟手臂防撞机构，所述舟检测机构包括防撞板和搬舟防撞顶板，所述搬舟防撞顶板上设置有舟放置机构，所述舟安放在舟放置机构上，所述舟碰撞机构、搬舟手臂防撞机构和所述固定装置设置于防撞板上，所述搬舟手臂和搬舟碰撞机构通过固定装置固设连接。本实用新型操作方便，适用性广，适用于扩散、退火、PECVD、LPCVD等设备，也可用于设备缓存位上的检测，且运用简单的结构，实现了舟检测、搬舟手臂碰撞检测及舟碰撞检测，提高了设备的可靠性。

基本信息

专利标题：

一种搬舟碰撞检测装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020398079.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-03-25

授权号：

CN212254524U

授权日：

2020-12-29

发明人：

林佳继庞爱锁朱太荣刘群张武

申请人：

深圳市拉普拉斯能源技术有限公司

申请人地址：

广东省深圳市坪山区坑梓街道吉康路1号

代理机构：

杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

董世博

优先权：

CN202020398079.9

主分类号：

G01M7/08

IPC分类号：

G01M7/08