MEMS麦克风和电子产品
授权
摘要
本实用新型涉及一种MEMS麦克风和电子产品，包括组合基板、MEMS芯片和设置在所述容纳腔中的防水膜；所述组合基板包括层叠设置的第一基板和第二基板，所述第一基板和第二基板之间形成有容纳腔，所述第一基板上形成有连通至所述容纳腔的第一声孔，所述第二基板上形成有连通至所述容纳腔的第二声孔；所述MEMS芯片设置在所述组合基板上；所述防水膜将所述第一声孔与第二声孔隔开。本实用新型提供的MEMS麦克风和电子产品，防水膜有效防止外侧环境中的灰尘、液体等异物进入MEMS麦克风内，提高MEMS麦克风的可靠性。
基本信息
专利标题 ：
MEMS麦克风和电子产品
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020401713.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-25
授权号 ：
CN211702389U
授权日 ：
2020-10-16
发明人 ：
张瑞霞
申请人 ：
歌尔微电子有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市崂山区松岭路396号103室
代理机构 ：
北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
柳岩
优先权 ：
CN202020401713.X
主分类号 ：
H04R19/04
IPC分类号 ：
H04R19/04 H04R1/44
法律状态
2020-10-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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