MEMS麦克风和电子产品
授权
摘要
本实用新型涉及一种MEMS麦克风和电子产品，包括基板、支撑板、防水膜和MEMS芯片，所述基板的第一表面上形成有沉槽，所述基板上开设有贯通的主声孔，所述主声孔连通至所述沉槽的底面上；所述支撑板设置在所述基板上，所述支撑板覆盖所述沉槽，所述支撑板上开设有贯通的次声孔；所述防水膜设置在所述沉槽中，所述防水膜将所述主声孔和次声孔隔开，所述主声孔与次声孔分别位于所述防水膜的两侧；所述MEMS芯片设置在所述支撑板或所述基板上。本实用新型提供的MEMS麦克风，防水膜能防止外侧环境中的灰尘、液体等异物进入MEMS麦克风内，提高MEMS麦克风的可靠性。
基本信息
专利标题 ：
MEMS麦克风和电子产品
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020401714.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-25
授权号 ：
CN211702390U
授权日 ：
2020-10-16
发明人 ：
张瑞霞
申请人 ：
歌尔微电子有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市崂山区松岭路396号103室
代理机构 ：
北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
柳岩
优先权 ：
CN202020401714.4
主分类号 ：
H04R19/04
IPC分类号 ：
H04R19/04 H04R1/44
法律状态
2020-10-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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