一种硅晶棒加工用线锯切割运行系统
授权
摘要
本实用新型涉及一种硅晶棒加工用线锯切割运行系统,包括主驱动组件、张紧组件和切割线,所述张紧组件中张紧主轴与张紧轴承座之间具有迷宫密封结构,且张紧轴承座与张紧主轴抵靠处的端面上开设有沥水斜槽,在进行切割工作时,粉尘不易进入张紧轴承内部,喷淋冷却水进入迷宫缝隙后,也会在重力作用下首先沿沥水斜槽下流,紧接着随着旋转被离心甩出,在线锯停止运行,张紧轴承座停止转动时,冷却水会沿张紧主轴外壁上的沥水槽排出,防水防尘性能得到有效提高,并且张紧轮套设于张紧轴承座的侧壁上,简化张紧组件的结构,避免增加张紧组件的转动惯量,提高张紧组件运行的稳定性,从而有效保证线锯切割运行系统的运行稳定性,提高切割质量。
基本信息
专利标题 :
一种硅晶棒加工用线锯切割运行系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020450374.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-03-31
授权号 :
CN212218921U
授权日 :
2020-12-25
发明人 :
李海威梁兴华黄田玉林孝狮陈绍森方捷林光展刘林炎苏宇华姚煌陈武森
申请人 :
福州天瑞线锯科技有限公司
申请人地址 :
福建省福州市闽侯县甘蔗街道南兴路6号
代理机构 :
福州市景弘专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
张忠波
优先权 :
CN202020450374.4
主分类号 :
B28D5/04
IPC分类号 :
B28D5/04 B28D7/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D5/00
宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工,例如半导体材料的精加工;所用设备
B28D5/04
用非旋转式工具的,例如往复式工具
法律状态
2020-12-25 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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