一种真空镀膜机用减压装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种真空镀膜机用减压装置，包括减压腔与气压腔和气压泵，所述气压腔置于所述减压腔的顶部，所述气压腔的顶部设置有连接管，所述气压泵置于所述连接管的一侧，所述减压腔的两侧设置有减压泵，所述减压腔的底部设置有连接螺纹管；在使用的时候通过气压泵进行气压控制，可以进行冲击辅助，同时可以调节气压，便于进行控制气压的大小，同时减压腔可以进行减压控制，在冲击的时候减压泵向减压腔内进行输气，使得两股气流进行冲击抵消。本实用新型减少冲击力，同时可以进行调节冲击的压力，可以调节到合适的冲击的效果。
基本信息
专利标题 ：
一种真空镀膜机用减压装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020571494.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-17
授权号 ：
CN212560415U
授权日 ：
2021-02-19
发明人 ：
骆海伟
申请人 ：
东莞市伟信真空服务有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市大岭山镇矮岭冚村白泥山南路60号一楼
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020571494.X
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22 C23C14/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2021-02-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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