转印式滚轮的生产设备
授权
摘要
本实用新型公开一种转印式滚轮的生产设备。转印式滚轮的生产设备包括一曝光装置、一作动机构、以及一显影机构。曝光装置用来伸入一透光圆管内且曝光装置包括一雷射发射模块。雷射发射模块用来朝透光圆管发出通过干涉作用而构成的一图案化光线，以使图案化光线照射在涂布于透光圆管外表面的一负光阻层。作动机构用来使曝光装置与透光圆管相对地移动，以使负光阻层的一部位能够受到图案化光线照射而构成一全像纹路图案层。显影机构用来去除未形成全像纹路图案层的负光阻层的另一部位。借此，取代用于现有的转印式滚轮的制造设备。
基本信息
专利标题 ：
转印式滚轮的生产设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020672267.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-28
授权号 ：
CN211718692U
授权日 ：
2020-10-20
发明人 ：
林刘恭
申请人 ：
光群雷射科技股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾新竹市
代理机构 ：
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 ：
许静
优先权 ：
CN202020672267.6
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-10-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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