硅片送料启动检测装置其送料装置

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摘要

本实用新型涉一种硅片送料检测装置，尤其是硅片送料启动检测装置，包括升降装置，所述升降装置位于料盒的上方；升降座，所述升降座安装在检测升降装置上；进料传感器，所述进料传感器安装在升降座上；检测杆，所述检测杆转动安装在升降座上，所述检测杆的一端用于与料盒中的硅片接触，所述检测杆的另一端用于检测杆一端与硅片接触后触发所述进料传感器；检测复位装置，所述检测复位装置安装在检测杆与升降座之间，所述检测复位装置用于检测杆保持不触发所述进料传感器的状态。本实用新型提供的硅片送料启动检测装置将传感器设置在水槽的外部，不受水槽中泥沙影响，检测结果准确可靠，并且传感器使用寿命长。

基本信息

专利标题：

硅片送料启动检测装置其送料装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020694499.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-29

授权号：

CN212049450U

授权日：

2020-12-01

发明人：

刘真李思波郭进

申请人：

无锡喆创科技有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市新吴区鸿山街道金马路81号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202020694499.1

主分类号：

B65G47/82

IPC分类号：

B65G47/82 B65G49/06 B65G43/08 B65G15/58 B08B3/02