全自动硅片清洗送料装置

授权

摘要

本实用新型涉及硅片清洗技术领域，公开了全自动硅片清洗送料装置，包括清洗池；所述清洗池的顶侧呈开口状，所述清洗池顶端的前后两侧均固定安装有支板，两个所述支板的顶端固定安装有箱体，所述箱体的底侧呈开口状，所述箱体的右侧固定安装有转动电机a。本实用新型通过设置的转动电机a和转动电机b，便于将硅片置于清洗筒内后，可通过启动转动电机a，驱使滑块水平移动，然后通过启动电动伸缩杆将清洗筒推到清洗池内，而转动电机b则通过两个传动轮和传动带驱使清洗筒转筒，从而使得硅片与清洗池内的清洗液充分接触，有效提高了现有技术的清洗效果，较为实用，适合广泛推广和使用。

基本信息

专利标题：

全自动硅片清洗送料装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020447091.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-03-31

授权号：

CN212121022U

授权日：

2020-12-11

发明人：

顾韻

申请人：

无锡市南亚科技有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市滨湖区立业路2号

代理机构：

北京盛凡智荣知识产权代理有限公司

代理人：

李青

优先权：

CN202020447091.4

主分类号：

B08B3/10

IPC分类号：

B08B3/10