一种晶圆测试探针接触电阻的测量装置

授权

摘要

本实用新型公开了一种晶圆测试探针接触电阻的测量装置，该装置中的浮动模拟源和引线焊盘通过探针卡实现电连接；探针卡上设置有第一探针、第二探针、第三探针、开关K3、开关K4，以及并联的开关K1和开关K2；利用引线焊盘、探针卡和自动测试设备首先实现原有的第一探针电阻的测量，再实现晶圆电参数的测试，将测量出的第一探针的电阻代入晶圆的电参数测试结果中，实现误差的补偿，该装置有利于晶圆测试探针接触电阻的精确测量，在量产测试时进行在线实时补偿，提高电参数测试精度和芯片测试良品率，降低探针的清洁和更换频率，节约生产成本。同时，根据探针接触电阻的测试结果，可以更科学、更准确的指导生产维护人员及时进行清洁或更换。

基本信息

专利标题：

一种晶圆测试探针接触电阻的测量装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020706681.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-30

授权号：

CN212410776U

授权日：

2021-01-26

发明人：

穆永杰

申请人：

西安太乙电子有限公司

申请人地址：

陕西省西安市高新路28号

代理机构：

西安通大专利代理有限责任公司

代理人：

李晓晓

优先权：

CN202020706681.4

主分类号：

G01R31/28

IPC分类号：

G01R31/28 G01R27/02