一种晶圆测试探针接触电阻的测量装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶圆测试探针接触电阻的测量装置,该装置中的浮动模拟源和引线焊盘通过探针卡实现电连接;探针卡上设置有第一探针、第二探针、第三探针、开关K3、开关K4,以及并联的开关K1和开关K2;利用引线焊盘、探针卡和自动测试设备首先实现原有的第一探针电阻的测量,再实现晶圆电参数的测试,将测量出的第一探针的电阻代入晶圆的电参数测试结果中,实现误差的补偿,该装置有利于晶圆测试探针接触电阻的精确测量,在量产测试时进行在线实时补偿,提高电参数测试精度和芯片测试良品率,降低探针的清洁和更换频率,节约生产成本。同时,根据探针接触电阻的测试结果,可以更科学、更准确的指导生产维护人员及时进行清洁或更换。
基本信息
专利标题 :
一种晶圆测试探针接触电阻的测量装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020706681.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-30
授权号 :
CN212410776U
授权日 :
2021-01-26
发明人 :
穆永杰
申请人 :
西安太乙电子有限公司
申请人地址 :
陕西省西安市高新路28号
代理机构 :
西安通大专利代理有限责任公司
代理人 :
李晓晓
优先权 :
CN202020706681.4
主分类号 :
G01R31/28
IPC分类号 :
G01R31/28 G01R27/02
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R31/28
•电路的测试,例如用信号故障寻测器
法律状态
2021-01-26 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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