用于半导体腔体组件晶圆升降装置
授权
摘要
本实用新型公开了用于半导体腔体组件晶圆升降装置,本实用新型涉及半导体腔体组件晶圆检测技术领域,包括框体,所述框体下端固定安装有底座,所述框体一侧活动安装有框门,所述框门一侧中间处固定安装有拿捏把手,所述框体上表面中间位置处活动连接有活动柱,所述活动柱上端固定安装有承载圆盘,所述框体前表面靠近下端中间位置处固定安装有伺服电机,所述框体前表面靠近上端中间位置处固定安装有控制面板。该装置不仅能够实现对承载圆盘的升降效果,并通过刻度线对升降高度有效控制,便于半导体腔体组件晶圆进行检测加工,也能够快速有效的完成对半导体腔体组件晶圆的固定,便于操作人员进行操作处理,加快工作效率。
基本信息
专利标题 :
用于半导体腔体组件晶圆升降装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020736640.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-08
授权号 :
CN211700233U
授权日 :
2020-10-16
发明人 :
金昆根张海娟
申请人 :
杭州翔烽科技有限公司
申请人地址 :
浙江省杭州市萧山区所前镇新光大道1号里土湖科创园5号楼
代理机构 :
杭州融方专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
沈相权
优先权 :
CN202020736640.X
主分类号 :
H01L21/687
IPC分类号 :
H01L21/687 H01L21/66
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的,例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2020-10-16 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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