一种反射光相位信息表征装置
授权
摘要
本专利公开一种反射光相位信息表征装置,该装置分为左臂和右臂,包括:光源、起偏器、第一1/4波片、第一偏振分束器、第一样品台、第二偏振分束器、第一反射镜、第二样品台、第二反射镜、第二1/4波片、检偏器、探测器。左、右臂围绕垂直样品台的中心轴旋转可改变入、出射角度。光束经过第一偏振分束器后分为光路1与光路2,汇聚于第二偏振分束器。本装置可同时测量样品不同入射角度条件下反射光的强度和相位信息,即可获取反射光谱的全面信息,为超构材料、光学天线、等离激元阵列等人工微纳结构以及光学薄膜、自然材料等体系提供一种实用的光谱检测技术。
基本信息
专利标题 :
一种反射光相位信息表征装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020747343.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-09
授权号 :
CN212932371U
授权日 :
2021-04-09
发明人 :
郝加明李晓温俞伟伟文政绩周子骥刘锋
申请人 :
中国科学院上海技术物理研究所
申请人地址 :
上海市虹口区玉田路500号
代理机构 :
上海沪慧律师事务所
代理人 :
郭英
优先权 :
CN202020747343.5
主分类号 :
G01N21/25
IPC分类号 :
G01N21/25 G01J3/42 G01J3/02 G01J9/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
G01N21/25
颜色;光谱性质,即比较材料对两个或多个不同波长或波段的光的影响
法律状态
2021-04-09 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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