倾斜平台及基板传输装置
授权
摘要
本实用新型揭露一种借由倾斜角度以使所传输的基板或基板的表面的湿式制程药液散逸的倾斜平台及以之制备的基板传输装置，本实用新型提供一种基板传输装置，该基板传输装置至少包括有一基座及一倾斜平台，其主要在于：倾斜平台设置于基座上，且倾斜平台与基座之间夹设有一夹角；借此，本新型借由在基板传输装置的基座上设置倾斜平台的设计，有效在基板传输的同时使其表面残留的湿式制程的药液可顺着倾斜角度滑落，以使基板在传输时不会因为药液的残留而对其表面造成危害，确实达到保护传输的基板的品质等优势。
基本信息
专利标题 ：
倾斜平台及基板传输装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020842001.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-19
授权号 ：
CN212830794U
授权日 ：
2021-03-30
发明人 ：
黄建凯陈传宜蔡承佑
申请人 ：
亚智科技股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾桃园市中坜区自强三路三号
代理机构 ：
北京申翔知识产权代理有限公司
代理人 ：
赵梦雯
优先权 ：
CN202020842001.1
主分类号 ：
B65G13/00
IPC分类号 ：
B65G13/00 B65G13/12
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G13/00
辊道
法律状态
2021-03-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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