一种基板倾斜矫正装置及基板传输系统

授权

摘要

本实用新型提供一种基板矫正装置及基板传输系统，通过升降平台带动矫正挡块向上运动以推动轴承带动矫正推杆向垂直于基板传输系统的轨道运动，从而推动推平块推平真空治具上的基板，升降平台继续向上运动，由于矫正挡块正对轴承设有曲面以使得矫正挡块可以继续向上运动绕过轴承，同时在基板传输系统的顶部设有框形盖板或者条形盖板，在真空治具和框形盖板或者条形盖板的共同作用下能够矫正基板在竖直方向上产生的倾斜。

基本信息

专利标题：

一种基板倾斜矫正装置及基板传输系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021278849.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-01

授权号：

CN212380405U

授权日：

2021-01-19

发明人：

苏州

申请人：

甬矽电子（宁波）股份有限公司

申请人地址：

浙江省宁波市余姚市中意宁波生态园兴舜路22号

代理机构：

浙江杭州金通专利事务所有限公司

代理人：

邓世凤

优先权：

CN202021278849.2

主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/677