基于原子力显微镜的测量装置

专利权的终止

摘要

本实用新型涉及一种基于原子力显微镜的测量装置，原子力显微镜扫描头固定设置，在测量过程中静止不动，原子力显微镜扫描头扫描测量被测物体表面的轮廓面参数并生成检测信号，原子力显微镜信号调理装置将检测信号调理之后传递给平台控制器，平台控制器根据检测信号控制定位平台相对原子力显微镜扫描头运动而使原子力显微镜扫描头沿着被测物体表面扫描检测，计算机对检测信号进行处理而得出被测物体表面轮廓的参数。由此可见，本实用新型的一种基于原子力显微镜的测量装置，能够方便地进行测量，测量过程中，原子力显微镜扫描头保持静止，避免了振动导致的测量误差，提高了测量准确性。

基本信息

专利标题：

基于原子力显微镜的测量装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020895038.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-05-25

授权号：

CN212379431U

授权日：

2021-01-19

发明人：

吴俊杰傅云霞李源蔡潇雨魏佳斯周勇孙恺欣

申请人：

上海市计量测试技术研究院

申请人地址：

上海市静安区长乐路1226号

代理机构：

上海精晟知识产权代理有限公司

代理人：

任翠翠

优先权：

CN202020895038.0

主分类号：

G01Q60/24

IPC分类号：

G01Q60/24 G01Q10/00