一种CVD用新型两端支撑推舟机构
专利申请权、专利权的转移
摘要

本实用新型公开一种CVD用新型两端支撑推舟机构,包括推舟杆座组件、推舟杆组件以及反应管组件,所述推舟杆座组件包括推舟杆固定座以及组合支撑杆安装套筒,所述推舟杆组件的一端通过所述组合支撑杆安装套筒固定安装在所述推舟杆座组件上,所述推舟杆组件包括前端滚轮组件以及推舟杆,所述反应管组件内部设置有推舟杆导轨,所述推舟杆组件的另一端通过前端滚轮组件在所述推舟杆导轨上滑行。该种CVD用新型两端支撑推舟机构采用两端支撑结构,可以提升推舟机构的承载能力、大幅度提高推舟运行速度、大幅度延长使用寿命,可以有效减少设备的维护成本、缩短无效工艺时间、提高单机生产效率。

基本信息
专利标题 :
一种CVD用新型两端支撑推舟机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020945518.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-28
授权号 :
CN212610888U
授权日 :
2021-02-26
发明人 :
王俊朝寇宗和常红旺
申请人 :
深圳丰盛装备股份有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区高新区凤塘大道星光辉科技园A栋201
代理机构 :
深圳市深可信专利代理有限公司
代理人 :
万永泉
优先权 :
CN202020945518.3
主分类号 :
C23C16/44
IPC分类号 :
C23C16/44  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2021-05-11 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : C23C 16/44
登记生效日 : 20210429
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 深圳丰盛装备股份有限公司
变更后权利人 : 深圳市大族光伏装备有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 518000 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区高新区凤塘大道星光辉科技园A栋201
变更后权利人 : 518000 广东省深圳市宝安区福海街道和平社区重庆路大族激光工业园厂房4栋101
2021-02-26 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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