一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构，包括：固定基板；以及固接于所述固定基板上的第一卡接板与第二卡接板；其中，所述第一卡接板与第二卡接板沿着竖直平面平行且间隔设置以形成位于两者之间的卡接调节空间；所述第一卡接板及第二卡接板上分别开设有用于穿套连接杆的第一卡接孔及第二卡接孔；所述连接杆从所述大致第一卡接孔出发沿着竖直平面被保持在所述第一卡接孔及第二卡接孔中。根据本实用新型，其仅通过在第一卡接板及第二卡接板上分别开设有第一卡接孔及第二卡接孔实现了对推舟机构的可拆卸式稳定夹持。
基本信息
专利标题 ：
一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021239603.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-30
授权号 ：
CN212874460U
授权日 ：
2021-04-02
发明人 ：
刘景博王玉明陈晖
申请人 ：
苏州拓升智能装备有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴中区木渎镇金枫南路1258号B3幢二楼
代理机构 ：
北京远大卓悦知识产权代理有限公司
代理人 ：
孔凡玲
优先权 ：
CN202021239603.4
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L21/67 H01L31/18 C23C16/54
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2021-04-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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