一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置
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摘要
本实用新型公开了一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置，包括：推舟承重机构，其包括偶数根平行且间隔设置的推舟杆；以及推舟夹持机构，其包括连接杆以及依次套设于连接杆上的至少两个夹持连接件；其中，所述连接杆的一端连接有推舟固定机构，另一端通过所述夹持连接件与所述推舟杆相连；每个所述夹持连接件包括主连接套以及关于所述主连接套对称布置的偶数个夹持连接套，两两所述夹持连接套相结合并一体式地结合至所述主连接套的外周，每个夹持连接件上的夹持连接套的数目与推舟杆的数目相对应。根据本实用新型，其在提高了推舟杆装配稳定性的同时也提高了连接杆的装配稳定性，最终提高了石墨舟推舟装置在承托多组石墨舟时的稳定性。
基本信息
专利标题 ：
一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021239601.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-30
授权号 ：
CN212874459U
授权日 ：
2021-04-02
发明人 ：
刘景博王玉明陈晖
申请人 ：
苏州拓升智能装备有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴中区木渎镇金枫南路1258号B3幢二楼
代理机构 ：
北京远大卓悦知识产权代理有限公司
代理人 ：
孔凡玲
优先权 ：
CN202021239601.5
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L21/67 H01L31/18 C23C16/54
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2021-04-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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