具有辅助支撑的推舟机构及管式PECVD设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种具有辅助支撑的推舟机构及管式PECVD设备，推舟机构包括推舟座、推舟桨组、辅助支撑和水平直线模组，推舟座固定在水平直线模组的直线滑块上，辅助支撑包括支撑座和支撑杆，支撑座固定在水平直线模组的下方，支撑杆安装在支撑座上，推舟桨组一端固定在推舟座，另一端搭在支撑杆上。设备包括炉体、净化台和石英管，石英管内设有用于承载石墨舟的两个电极杆，还包括上述的具有辅助支撑的推舟机构，辅助支撑设在水平直线模组靠近炉体的一端。本实用新型通过新增辅助支撑，将大产能石墨舟悬臂梁式受力改为简支梁式，大大降低石墨舟搬运过程的挠度，实现送舟和取舟过程安全无触碰。
基本信息
专利标题 ：
具有辅助支撑的推舟机构及管式PECVD设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020939948.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-28
授权号 ：
CN212610893U
授权日 ：
2021-02-26
发明人 ：
朱辉梁浩谭瞻刘帅张春成赵志然
申请人 ：
湖南红太阳光电科技有限公司
申请人地址 ：
湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号
代理机构 ：
湖南兆弘专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
戴玲
优先权 ：
CN202020939948.4
主分类号 ：
C23C16/458
IPC分类号 ：
C23C16/458 C23C16/513
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/458
在反应室中支承基体的方法
法律状态
2021-02-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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