一种适用于PECVD设备的防砸舟推舟机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种适用于PECVD设备的防砸舟推舟机构，包括：桨杆装置；与所述桨杆装置滑动连接的滑动组件；与所述滑动组件滑动连接的顶升组件；以及固接于所述滑动组件底端的石墨舟检测组件；其中，所述桨杆装置通过T型悬臂与所述滑动组件相固接。本实用新型具有将桨杆装置与滑动组件及顶升组件通过T型悬臂连接为一个整体，不仅降低了结构空间，还使得桨杆的传送距离增大；能够对石墨舟在桨杆上放置的角度进行调节，保证石墨舟放置稳妥牢靠的有益效果。
基本信息
专利标题 ：
一种适用于PECVD设备的防砸舟推舟机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921564146.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-19
授权号 ：
CN210826352U
授权日 ：
2020-06-23
发明人 ：
王玉明刘景博陈晖张庶
申请人 ：
苏州拓升智能装备有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴中区木渎镇金枫南路1258号B3幢二楼
代理机构 ：
北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
韩飞
优先权 ：
CN201921564146.3
主分类号 ：
C23C16/50
IPC分类号 ：
C23C16/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/50
借助放电的
法律状态
2020-06-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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