推舟机构密封装置及反应设备
公开
摘要
本发明公开了一种推舟机构密封装置及反应设备，推舟机构密封装置包括固定组件、密封组件、桨及限位组件，固定组件包括筒体与两个端盖，筒体的端部与端盖包覆于所述密封组件内，桨穿设于所述筒体、靠近炉门一侧的端盖以及炉门内，限位组件均包括多个限位体与抵持体，限位体位于筒体与桨的外壁之间，抵持体与限位体抵持，使限位体夹紧桨；反应设备包括推舟机构密封装置。本发明中，桨被限位组件固定于筒体内部，桨与炉门之间没有密封结构，对桨的加工要求低，降低了桨的制作成本，两个密封结构分别包覆筒体的端部，使固定组件、固定组件内部的桨、限位组件得到密封，并且炉门与密封结构连接，炉门盖住炉口后即可实现炉体的密封。
基本信息
专利标题 ：
推舟机构密封装置及反应设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114613709A
申请号 ：
CN202210179744.9
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2022-02-25
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张勇彭倩罗伟斌
申请人 ：
深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号一层至六层
代理机构 ：
广州嘉权专利商标事务所有限公司
代理人 ：
钟平
优先权 ：
CN202210179744.9
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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