一种石墨舟和石墨舟镀膜设备
授权
摘要
本实用新型公开一种石墨舟和石墨舟镀膜设备，涉及太阳能电池技术领域，以解决石墨舟片容易松动的问题。该石墨舟包括M个石墨舟片以及多列用于固定M个石墨舟片的绝缘固定件。每列绝缘固定件为一体式结构或分体式结构，一体式结构的绝缘固定件包含一个绝缘固定单元，分体式结构的绝缘固定件包含两个以上绝缘固定单元。每个绝缘固定单元通过开设的凹槽与相应石墨舟片卡接在一起。各列绝缘固定件中绝缘固定单元的数量、分布设置成，使M个石墨舟片的间距得以固定。本实用新型提供的石墨舟和石墨舟镀膜设备用于等离子体增强化学气相淀积镀膜工艺。
基本信息
专利标题 ：
一种石墨舟和石墨舟镀膜设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021284606.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-03
授权号 ：
CN213184235U
授权日 ：
2021-05-11
发明人 ：
郑峰峰
申请人 ：
宁夏隆基乐叶科技有限公司
申请人地址 ：
宁夏回族自治区银川市经济技术开发区西夏区宏图南街115号
代理机构 ：
北京知迪知识产权代理有限公司
代理人 ：
付珍
优先权 ：
CN202021284606.X
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 C23C16/458
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2021-05-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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