一种石墨舟的振动装置及硅片的镀膜设备
专利申请权、专利权的转移
摘要
本实用新型公开了一种石墨舟的振动装置及硅片的镀膜设备，其中所述石墨舟的振动装置包括横梁、设于所述横梁上的振动源、设于所述横梁上的传振结构以及设于所述传振结构上的减震垫，所述传振结构经由所述减震垫将所述振动源产生的振动传导至所述石墨舟，通过所述振动装置可以带动石墨舟发生振动，帮助硅片滑动至石墨舟的卡点处，结构简单且容易操作；所述振动装置在传振结构上还设置了减震垫，避免了振动强度过大对石墨舟及硅片造成损伤。
基本信息
专利标题 ：
一种石墨舟的振动装置及硅片的镀膜设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020349609.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-19
授权号 ：
CN211700207U
授权日 ：
2020-10-16
发明人 ：
郑淑刚王沛康郝立辉
申请人 ：
晶澳太阳能有限公司
申请人地址 ：
河北省邢台市宁晋县晶龙大街
代理机构 ：
北京市万慧达律师事务所
代理人 ：
顾友
优先权 ：
CN202020349609.0
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/673
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-12-08 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : H01L 21/67
登记生效日 : 20201125
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 晶澳太阳能有限公司
变更后权利人 : 义乌晶澳太阳能科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 055550 河北省邢台市宁晋县晶龙大街
变更后权利人 : 322005 浙江省金华市义乌市义亭镇同泽路165号
登记生效日 : 20201125
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 晶澳太阳能有限公司
变更后权利人 : 义乌晶澳太阳能科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 055550 河北省邢台市宁晋县晶龙大街
变更后权利人 : 322005 浙江省金华市义乌市义亭镇同泽路165号
2020-10-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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