一种硅片镀膜载具

授权

摘要

本实用新型提供了硅片镀膜载具，包括承载板，在承载板上开设的若干承载孔；承载板包括位于相邻承载孔之间的隔条，以及位于承载板的边缘的边框；在隔条上的承载孔的孔壁包括对应硅片侧边的第一承载部，以及对应硅片顶角或倒角的第二承载部；第一承载部包括第一下沉段和第一倾斜段，第一下沉段自承载板的上表面竖直向下延伸；第一倾斜段顺着第一下沉段的末端向承载孔中心的方向延伸；第二承载部包括第二下沉段和第二倾斜段，第二下沉段自承载板的上表面向下延伸；第二倾斜段顺着第二下沉段的末端向承载孔中心的方向延伸；第二下沉段的下沉深度大于第一下沉段的下沉深度。由于本实用新型能够兼容直角和倒角硅片，因此具有生产成本低和效率高的优点。

基本信息

专利标题：

一种硅片镀膜载具

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920994032.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-06-28

授权号：

CN210325728U

授权日：

2020-04-14

发明人：

田西林张伟张娟陈跃崔国庆卞强

申请人：

泰州隆基乐叶光伏科技有限公司

申请人地址：

江苏省泰州市海陵区兴泰南路268号

代理机构：

北京知迪知识产权代理有限公司

代理人：

王胜利

优先权：

CN201920994032.6

主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/673