硅片镀膜用石墨舟

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

摘要

本实用新型公开了一种硅片镀膜用石墨舟，包括：通过陶瓷棒串接在一起的一排竖置石墨舟片；石墨舟片上设有：可承载单个竖置硅片的卡点组；石墨舟片还设有三个用于安装卡点的条孔；该三个条孔分别贯通石墨舟片的两侧表面，该三个条孔还都沿石墨舟片的横向延伸，且该三个条孔都由石墨舟片的横向一端延伸至横向另一端。本实用新型硅片镀膜用石墨舟，其卡点与石墨舟片卡接，且可自由设置卡点在对应条孔中的安装位置，既能承载硅片整片，又能承载该硅片整片所分割出的分片。

基本信息

专利标题：

硅片镀膜用石墨舟

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920724471.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-05-21

授权号：

CN209607715U

授权日：

2019-11-08

发明人：

王博文孟祥熙

申请人：

常州时创能源科技有限公司

申请人地址：

江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201920724471.5

主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/673 C23C16/54