一种镀膜载具及其定位结构
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摘要
一种镀膜载具及其定位结构,该镀膜载具包括承载部及转轴、工件盘,其特征在于:所述承载部由转轴的旋转轴线区分为两侧;所述承载部一侧的外周面上设置有定位部,且承载部上设置有配重部,该配重部偏心设置于承载部上定位部所在的一侧,以使得承载部重心偏向定位部所在一侧;所述工件盘上对应于镀膜载具开设有安装缺口,该安装缺口沿工件盘的轴向贯穿所述工件盘;所述工件盘上对应于转轴开设有定位孔,承载部通过转轴转动设置于所述工件盘上,所述镀膜载具在工件盘上具有两个工位;所述工件盘上对应于两个工位上所述定位部均开设有定位槽。本实用新型的镀膜载具的重心偏向定位部一侧,在光学镀膜机工作过程中,保证了镀膜载具在镀膜过程中的稳定性。
基本信息
专利标题 :
一种镀膜载具及其定位结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922072575.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-27
授权号 :
CN211036092U
授权日 :
2020-07-17
发明人 :
张继宇李颖杨国文赵卫东张艳春刘中华沈佳铌
申请人 :
度亘激光技术(苏州)有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号西北区20幢215、217室
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201922072575.5
主分类号 :
C23C14/50
IPC分类号 :
C23C14/50 C23C14/34
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2020-07-17 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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