一种自适应浮动载物装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种自适应浮动载物装置，包括用于载物的浮动台、设于所述浮动台的下部用于调整浮动台位置的浮动件和用于锁紧所述浮动件实现对浮动件定位的锁紧组件，所述浮动台与所述浮动件固定连接。该装置能够通过浮动件对浮动台的位置进行调整，实现浮动台适应晶棒端面，浮动件通过锁紧组件锁紧并定位，实现浮动台位置的固定，从而满足晶棒检晶线和检测同轴度的需求。
基本信息
专利标题 ：
一种自适应浮动载物装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020946139.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-28
授权号 ：
CN212684367U
授权日 ：
2021-03-12
发明人 ：
刘克村
申请人 ：
青岛高测科技股份有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市高新技术产业开发区火炬支路66号
代理机构 ：
北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
于晶晶
优先权 ：
CN202020946139.6
主分类号 ：
B28D5/04
IPC分类号 ：
B28D5/04 B28D7/04 G01B21/00 G01B21/24
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D5/00
宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工，例如半导体材料的精加工；所用设备
B28D5/04
用非旋转式工具的，例如往复式工具
法律状态
2021-03-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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