一种真空镀膜机工件治具转舱机械手
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摘要

本实用新型公开了一种真空镀膜机工件治具转舱机械手,所述机械手通过其自身所具有的前后伸缩上下升降和旋转及沿导轨平移的运动功能,上、下爪手的卡口以及治具设计对应插杆上的卡块,以及上、下爪手之间的支撑板提供有力支撑和主框架及其底座的承载,实现了单个大型治具的夹取,并能精准转移到达某一功能舱室安装后再返回进行下一治具的夹取,所述真空镀膜机的机械手适用于单挂体积或重量较大的治具,且该类镀膜机由于不需要将整个工件架整体输送,故不需要特别设计尺寸过大的舱门,降低了造价,所述治具的转舱方法,有效减少了破真空的次数,通过对治具在加热舱加热再分送至各不同膜系的镀膜舱同时进行不同膜系的镀膜,大幅度提升了加工效率。

基本信息
专利标题 :
一种真空镀膜机工件治具转舱机械手
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021007521.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-04
授权号 :
CN213259486U
授权日 :
2021-05-25
发明人 :
李志方陈思陸创程冯晓庭
申请人 :
广东汇成真空科技股份有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市市大岭山镇颜屋村王园路2号
代理机构 :
广州知友专利商标代理有限公司
代理人 :
周克佑
优先权 :
CN202021007521.7
主分类号 :
B25J9/02
IPC分类号 :
B25J9/02  B25J15/08  C23C14/56  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B25
手动工具;轻便机动工具;手动器械的手柄;车间设备;机械手
B25J
机械手;装有操纵装置的容器
B25J9/00
程序控制机械手
B25J9/02
以臂的运动为特征的,例如直角坐标型的
法律状态
2021-05-25 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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