一种用于单晶硅片生产的烤箱
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摘要

本实用新型公开了一种用于单晶硅片生产的烤箱,包括箱体,所述箱体内部中下端前侧、后侧均固定设置有固定杆,所述固定杆顶端之间活动设置有移动板,所述移动板顶端固定设置有放置板,所述放置板顶端两侧均固定设置有若干放置架,所述箱体外部右侧中部固定设置有加热机构,所述加热机构在远离箱体的一侧上端固定设置有连接管。本实用新型在对硅片进行加热烧烤时依次把硅片放置到安装在放置板顶端两侧的放置架之间,再同时启动加热机构和风机把加热机构内部的热量输送进箱体内部进行加热,且再通过滤框、管体把箱体内部的气流输送进风机内部,再通过风机把连接管、加热机构回流到箱体内部即可,这样便于减小箱体内部的热量流失从而减小加热成本。

基本信息
专利标题 :
一种用于单晶硅片生产的烤箱
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021027600.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-08
授权号 :
CN212293843U
授权日 :
2021-01-05
发明人 :
王德喜
申请人 :
天津莱昌电子科技有限公司
申请人地址 :
天津市河北区光复道街海河东路49号801
代理机构 :
北京久维律师事务所
代理人 :
邢江峰
优先权 :
CN202021027600.4
主分类号 :
C30B29/06
IPC分类号 :
C30B29/06  C30B33/02  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/02
元素
C30B29/06
法律状态
2021-01-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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